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GB/T 20229-2022 磷化镓单晶
2023年07月04日 发布
分类：行业标准 点击量：502
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标准编号：GB/T 20229-2022 标准名称：磷化镓单晶 起草单位：中国电子科技集团公司第十三研究所,有研国品辉新材料有限公司,有色金属技术经济研究院有限责任公司。 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)与全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2) 发布日期：2022-03-09 实施日期：2022-10-01 
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