GB/T 42276-2022 氮化硅粉体中氟离子和氯离子含量的测定离子色谱法

发布时间 | 2023-02-17 15:38 分类 | 行业标准点击量 | 742

氮化硅

导读：本文件描述了氮化硅粉体中氟离子和氯离子含量的离子色谱测定方法。适用于氮化硅粉体中氟离子和氯离子含量的测定，测试范围为0.050 0 mg/g～0.600 mg/g。

标准编号：GB/T 42276-2022

标准名称：氮化硅粉体中氟离子和氯离子含量的测定离子色谱法

起草单位：新特能源股份有限公司、新疆晶硕新材料有限公司、瑞士万通中国有限公司、江苏塞夫特半导体材料检测技术有限公司、青岛盛瀚色谱技术有限公司、青岛普仁仪器有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、江苏联瑞新材料股份有限公司、青岛瓷兴新材料有限公司。

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)与全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/ TC 203/SC 2)

发布日期：2022-12-30

实施日期：2023-04-01

作者：粉体圈

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