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GB/T 42276-2022 氮化硅粉体中氟离子和氯离子含量的测定 离子色谱法
2023年02月17日 发布
分类：行业标准 点击量：503
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标准编号：GB/T 42276-2022 标准名称：氮化硅粉体中氟离子和氯离子含量的测定 离子色谱法 起草单位：新特能源股份有限公司、新疆晶硕新材料有限公司、瑞士万通中国有限公司、江苏塞夫特半导体材料检测技术有限公司、青岛盛瀚色谱技术有限公司、青岛普仁仪器有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、江苏联瑞新材料股份有限公司、青岛瓷兴新材料有限公司。 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)与全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/ TC 203/SC 2) 发布日期：2022-12-30 实施日期：2023-04-01 
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