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哈尔滨科友半导体产出8吋碳化硅单晶
2023年01月05日 发布 分类:行业要闻 点击量:420
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日前,科友半导体传来捷报,其通过自主设计制造的电阻长晶炉产出直径超过8吋的碳化硅单晶,晶体表面光滑无缺陷,最大直径超过204mm,在碳化硅晶体生长尺寸上取得重大突破。


科友第三代半导体产学研聚集区项目由哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司与哈尔滨新区共同投资10亿元建设,将打造包括技术开发、装备设计等在内的全产业链的科技成果转化及产业化应用研究集聚区,并以哈尔滨为总部,打造国家级第三代半导体装备与材料创新中心。科友半导体从实现6吋碳化硅晶体稳定生长开始,就着手布局8吋碳化硅晶体研发,成功制备出八吋碳化硅电阻长晶炉后,着力解决了大尺寸长晶过程中的温场分布不均匀以及气相原料碳硅比和输运效率等问题,同时专项攻关解决应力大导致的晶体开裂问题。

在多年无数次的探索、模拟、实验、重复、改进后,借助科友半导体自主研发的热场稳定性高、工艺重复性好的电阻长晶炉,研发团队终于掌握了8吋碳化硅晶体生长室内温场分布和高温气相输运效率等关键技术,获得了品质优良的8吋碳化硅单晶,为实现下一步的8吋碳化硅晶体产业化量产打下坚实的基础。


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