MLCC正在朝小型化、大容量、高可靠方向升级,要使同样体积的MLCC能储存更多电荷,其中一个关键就是提高钛酸钡(BaTiO3)介质的介电性能。而BaTiO3的高介电常数与四方相晶体结构紧密相关:在室温附近时,四方相是BaTiO3的热力学稳定态,具有高铁电性和高介电常数,而立方相等其他物相并非目标物相,会降低四方相的占比,还可能引入缺陷、气孔等,拉低介电常数和绝缘可靠性。因此,对于MLCC用BaTiO3粉体,抑制杂相是保证BaTiO3介电性能的关键环节。

室温下MLCC用BaTiO3的目标物相:铁电四方相(P4mm)(来源:参考文献)
工业上制备BaTiO3粉体主要有两种路线:固相法和水热法。固相法以BaCO3和TiO2为原料,经高温煅烧发生固相反应合成BaTiO3;水热法则是在碱性水热条件下,使钡源、钛源前驱体在一定温度和压力下发生反应,形成纳米BaTiO3晶粒。
一、在固相法中,BaCO3和 TiO2是较为典型的残余相。由于固相反应依赖颗粒间的接触及离子扩散,原料混合不均、颗粒团聚或煅烧温度不足,都可能导致局部反应不充分,残留未反应的BaCO3或 TiO2。当局部BaO过量时,还可能生成Ba2TiO4中间相。煅烧温度不足还可能导致出现立方相的BaTiO3。

固相法工艺流程图(来源:参考文献)
在制备和后续处理过程中,BaTiO3粉体可能会发生表面碳酸化,即表面Ba2+与空气中的CO2反应生成BaCO3。除了影响MLCC陶瓷层的介电性能外,BaCO3杂相还可能在烧结时分解产生CO2气体,增加陶瓷体内出现气孔的风险,进而影响致密度和可靠性。

BaTiO3水热法合成示意图(来源:参考文献)
二、在水热法中,由于水热反应在碱性水溶液中进行,OH-容易进入BaTiO3晶格,发生羟基化,而OH-的电荷与它所取代的O2-不匹配,为维持晶格电中性,晶体会同时产生Ba2+空位等缺陷进行电荷补偿。这些OH-缺陷和伴随的Ba2+空位会抑制四方畸变,使纳米BaTiO3在室温下更容易形成立方相或假立方相。此外,水热法在前驱体活性较低或分散性较差时,钛源(如:TiO2)可能转化不充分,导致残留非目标相(如:金红石相)。
选用颗粒更细的BaCO3、TiO2浆料,并使用ZrO2珠湿法球磨、分散等方式提高两种原料的接触和混合均匀性,可以缩短固相扩散距离、提高反应动力学,从源头促进BaTiO3形成并减少局部反应不充分。这一思路已用于MLCC用BaTiO3粉体的工业生产路线。
煅烧过程需要在充分完成物相转化与抑制晶粒长大之间取得平衡。温度过低或时间不足容易残留BaCO3、TiO2或中间相Ba2TiO4;而过高的温度和过长的保温时间则会促进晶粒长大和颗粒团聚,不利于获得细小、均匀的BaTiO₃粉体。在700-900℃,产物可能呈现立方相,因此,在MLCC用BaTiO₃工艺中,将煅烧温度控制在约900–1100 ℃的范围内才能稳定得到四方相。但具体温度窗口仍需结合原料粒径、混合状态及反应活性等设定。
前驱体的晶型、粒径和结构状态直接影响水热反应活性与BaTiO3的物相纯度。如:以TiO2为钛源时,锐钛矿反应活性高于金红石,更易与钡源反应,减少未反应TiO2残留。此外,还可以选择钛酸异丙酯(Ti(OiPr)4)等有机钛源,其水解后可形成高活性的无定形水合氧化钛,有利于在较低温度下促进BaTiO₃形成。
2. 精准调控水热反应温度和时长
水热反应中温度直接影响BaTiO₃产物的晶型,要获得四方相,通常需要适当提高反应温度,一般水热反应设定温度在180-250℃。为了保证反应充分,还可适当延长反应时长。实际过程中还需要结合前驱体晶型、粒径等对反应温度和时长进行调控。
3. 维持适当的碱性环境
水热合成BaTiO3需要碱性条件,对于结晶态TiO2等低活性钛源,反应依赖“溶解-再结晶”机制,需要在强碱性环境(通常pH>13)以确保TiO2充分溶解。但同时可能有立方相BaTiO3生成,需要配合足够高的温度以获得高含量四方相BaTiO3。而对于无定形水合氧化钛等高活性钛源,反应不依赖TiO2的高温溶解,pH在10–12的较宽范围内即可获得较纯的BaTiO3。

不同碱度条件下BaTiO3粉体SEM照片:(a)pH=9.5 (b)pH=11.5 (c)pH=13(来源:参考文献)
Ba/Ti化学计量比是影响BaTiO3物相纯度的关键因素。理论上Ba/Ti摩尔比为1,但实际生产中原料称量误差、混合不均及反应过程中的成分变化均可导致局部偏离,进而生成杂相。
固相法要求Ba/Ti比精确控制在0.995-1.005的极窄范围,无论富钛或富钡均会引入杂相。水热法则通常需钡源适当过量(Ba/Ti = 1~4),以补偿其相对较低的溶解度,确保钛源完全反应。
2. 控制掺杂量
MLCC用BaTiO3粉体常使用掺杂手段进行改性。对于掺杂改性的BaTiO3,应根据掺杂元素(如钇、镝等)的固溶能力合理控制掺杂量,避免掺杂元素过量或分布不均而形成第二相。
3. 优化洗涤工艺
对于已经形成或吸附于BaTiO3粉体表面的BaCO3,可以采用稀乙酸等弱酸进行多次洗涤,以有效降低BaCO3杂相含量。但酸洗条件不当也可能造成Ba2+溶出,改变粉体的Ba/Ti比例。因此,需要合理控制酸的种类、浓度及洗涤时间,并在洗涤后充分水洗,避免残酸和可溶性盐影响粉体性能。
X射线衍射(XRD)是分析BaTiO3粉体物相组成的核心手段,可以通过与四方相BaTiO3标准衍射图谱比对,判断目标物相是否形成,并根据BaCO3、TiO3等杂相的特征衍射峰识别残余物相。通过观察(200)峰是否分裂可以区分四方相与立方相,且结合Rietveld全谱拟合,可以对多相组成进行定量分析。

BaTiO3粉体和烧结试样在850℃和1150℃时的XRD谱图(左)
对1150°C烧结样品进行的Rietveld定量分析(右)(来源:参考文献)
不过,XRD 对低含量、低结晶度及衍射峰重叠的杂相存在检测局限,未检出杂相衍射峰不代表粉体完全无杂相。因此,实际质量检测还需要结合ICP等化学成分分析手段,必要时辅以Raman光谱或电子显微镜等。

超细四方相BaTiO3的(a)SEM照片 (b)粒度分布 (c)TEM照片 (d)XRD谱图(来源:参考文献)
BaTiO3粉体的物相纯度与晶体结构直接影响MLCC介电性能及器件可靠性。杂相抑制贯穿粉体制备全过程,需要针对固相法和水热法的不同特点,采取优化原料、控制反应条件以及弱酸洗涤等措施,并通过合理控制掺杂元素量,减少非目标物相。此外,结合XRD等表征手段对物相组成进行检测与定量评估,可为高性能MLCC用BaTiO3粉体的质量控制提供依据。
参考文献
[1] Sivalertporn K.,Suksong P.,Poopanya P.Solid State Communications, 2025,404:116053.
[2] Rashwan G.M.,Ebnalwaled A.A.,Saad E.M.,et al.J.Sol-Gel Sci.Technol., 2024,109:707–719.
[3]Li M.,Gu L.,Li T.,et al.Crystals,2020,10:202.DOI: 10.3390/cryst10030202.
[4]司留启,应红,朱胜利,等.水热法直接合成超细四方相BaTiO_(3)纳米粉体的研究和表征[J].功能材料,2025,56(5):5160-5166.
[5]Lee G.,Asif F.,Rahman S.U.,et al.RSC Advances,2025,15:8385–8401.
粉体圈Sherin整理