标准编号：GB/T 30868-2025
标准名称：碳化硅单晶片微管密度测试方法
起草单位：中国电子科技集团公司第四十六研究所,北京天科合达半导体股份有限公司山东天岳先进科技股份有限公司、广东天域半导体股份有限公司,有色金属技术经济研究院有限责任公司,安徽长飞先进半导体股份有限公司,浙江品瑞电子材料有限公司,南京盛鑫半导体材料有限公司湖州东尼半导体科技有限公司,长飞光纤光缆股份有限公司,浙江材孜科技有限公司,连科半导体有限公司、中电品华(天津)半导体材料有限公司,上海优睿谱半导体设备有限公司,河南中宜创芯发展有限公司、哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司、宁波合盛新材料有限公司、厦门中芯品研半导体有限公司。
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)与全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC203/SC2)
发布日期：2025-08-01
实施日期：2026-02-01
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