T/CASAS 048-2025 碳化硅单晶生长用等静压石墨

发布时间 | 2025-08-01 14:46 分类 | 行业标准点击量 | 20

石墨碳化硅

导读：本文件按照GB/T 1.1-2020《标准化工作导则第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。

标准编号：T/CASAS 048-2025

标准名称：碳化硅单晶生长用等静压石墨

起草单位：赛迈科先进材料股份有限公司、北京北方华创微电子装备有限公司、湖南三安半导体有限责任公司、山东天岳先进科技股份有限公司、山西烁科品体有限公司、山东大学、中国科学院半导体研究所、中电化合物半导体有限公司、杭州海乾半导体有限公司、北京第三代半导体产业技术创新战略联盟。

发布日期：2025-04-23

实施日期：2025-04-23

作者：粉体圈

总阅读量：20

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