GB/T 41751-2022 氮化镓单晶衬底片晶面曲率半径测试方法

发布时间 | 2024-02-02 11:22 分类 | 行业标准点击量 | 778

导读：本文件规定了利用高分辨X射线衍射仪测试氮化镓单晶衬底片晶面曲率半径的方法。本文件适用于化学气相沉积及其他方法制备的氮化镓单晶衬底片晶面曲率半径的测试，氮化镓外延片晶面曲率半径的测试...

标准编号：GB/T 41751-2022

标准名称：氮化镓单晶衬底片晶面曲率半径测试方法

起草单位：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、苏州纳维科技有限公司、中国电子科技集团公司第四十六研究所、哈尔滨奥瑞德光电技术有限公司、厦门柯誉尔科技有限公司、山西华晶恒基新材料有限公司、福建兆元光电有限公司。

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)与全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC203/SC2)

发布日期：2022-10-12

实施日期：2023-02-01

作者：粉体圈

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