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GB/T 30656-2023 碳化硅单晶抛光片
2023年04月28日 发布
分类：行业标准 点击量：623
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标准编号：GB/T 30656-2023 标准名称：碳化硅单晶抛光片 起草单位：北京天科合达半导体股份有限公司、中国科学院物理研究所、南京国盛电子有限公司、安徽长飞先进半导体有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司。 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)与全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC203/SC2) 发布日期：2023-03-17 实施日期：2023-10-01 
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