GB/T 30656-2023 碳化硅单晶抛光片

发布时间 | 2023-04-28 11:51 分类 | 行业标准 点击量 | 648
碳化硅
导读:本文件规定了4H及6H碳化硅单晶抛光片的牌号及分类,技术要求、试验方法,检验规则.标志、包装,运输.贮存、随行文件和订货单内容。本文件适用于生产电力电子器件﹑射频微波器件及IED发光器件的外延...

标准编号:GB/T 30656-2023

标准名称:碳化硅单晶抛光片

起草单位:北京天科合达半导体股份有限公司、中国科学院物理研究所、南京国盛电子有限公司、安徽长飞先进半导体有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司。

归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)与全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC203/SC2)

发布日期:2023-03-17

实施日期:2023-10-01

作者:粉体圈

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