李薇薇
教授/研发总监/河北工业大学 / 广东惠尔特纳米科技有限公司


李薇薇,博士,河北工业大学电子科学与技术系教授,主要从事微电子、光电子工艺研究,器件性能提升与改进,纳米材料制备与应用等方面的研究。曾主持及参与“超大规模集成电路多层铜布线CMP技术与专用材料”、“CMP专用纳米磨料生长粒径控制技术研究”、“CMP专用新型纳米磨料制备技术的研究”等科研项目,并取得多项相关成果及发明专利,著有《微电子化学技术基础》、《微电子工艺基础》等作品。