梅燕
教授/硕士生导师/北京工业大学材料与制造学部


梅燕,北京工业大学材料与制造学部教授/硕士生导师。自2003年开始立足我国稀土铈基CMP抛光磨料及抛光液的研究,博士论文题目为:CMP稀土抛光液的制备及超光滑硅片的化学机械抛光研究。

20年来一直从事稀土抛光粉的制备及抛光性能的研究工作,积累了丰富的实验经验,同时与国内相关CMP抛光加工生产企业、应用单位等建立了紧密的合作关系,并已合作开展过生产及应用方面的研究,在CMP抛光磨料制备、合成工艺、反应机理研究等方面均取得多项研究积累。

作为第一负责人,曾主持国家863重大项目子课题、北京市教委项目、企事业委托项目等多个科研项目,目前为“国家重点研发计划项目---稀土专项”课题负责人。以第一作者发表发表稀土抛光专业的文章30余篇,以第一发明人获得国家发明专利8项。