其中硅粉氮化法是制备氮化硅陶瓷粉体的最早的方法（工艺流程见下图），该方法是利用硅粉与氮气在高温下进行反应生产氮化硅粉体，这种方法最大的优点是生产效率高，成本相对较低。
硅粉氮化法的工艺流程图及方程式
氨解法是SiCl4和NH3的合成反应，根据反应物SiCl4与NH3的状态不同，反应又分成常温合成（又称气相合成，反应物是气相）和低温合成反应（液相合成，反应物是属液相）两种。反应机理：SiCl4与NH3的反应物(Si(NH)2)热解生成Si3N4与氨气；氨解法的关键是获得高纯度的亚氨基硅(Si(NH)2)，是高质量氮化硅粉体的先进制造技术。
上文为氮化硅粉体部分制备方法的简要说明，如需了解更多关于“氮化硅粉体的相关研究工作”请查看如下视频中葛昌纯院士分享的报告内容。
视频：
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