随着AI服务器、HBM封装、功率半导体以及相关设备国产化的爆发，半导体陶瓷材料成为近年来增长最快的先进陶瓷应用领域之一。比如封装用到氧化铝、氮化铝等，功能陶瓷有NTC/PTC热敏陶瓷、ZnO压敏陶瓷等，设备结构陶瓷有ESC静电卡盘、加热器、聚焦环、腔体绝缘件等……上述材料初始粉体的平均粒径大多在亚微米级，也有相当部分处在纳米级（小于100nm），而且大多为混合物，表面能极高难以分散，这也导致对它们进行粒度检测分析时极易出现较大偏差甚至错误。

部分半导体设备中的先进陶瓷（图源：Kyocera）

激光粒度仪最初只作为一种通用粉体检测分析仪器，随着行业竞争加剧，以及仪器厂商对应用的理解深入，更匹配专业客户的仪器技巧、功能甚至专用型号也陆续出现。而给出针对半导体陶瓷材料的行业解决方案，非常符合行业发展趋势——这一方面源于激光粒度仪存在自身局限，另一方面源于半导体陶瓷粉体成分复杂和粒径分布宽泛的特征。基于粒度仪行业共识，测量误差仅约10%来自仪器检测单元，90%以上问题出自取样分散这一步；再就是每种材料的折射率和吸收率不同，如氧化铝折射率仅1.76，碳化硅却高达2.6以上，相同的参数设置测量不同材料必然导致结果失真；“边界粒径”测试是最易踩坑的点，极小颗粒有散射强度急剧下降的问题，极大颗粒则存在散射信号集中分辨率不足等问题……

在6月25-26日举办的“CAC2026全国先进陶瓷论坛暨半导体用陶瓷专题论坛”上，珠海真理光学仪器有限公司董事长、天津大学教授，张福根博士将作题为“激光粒度仪在半导体陶瓷材料测量中的应用”的报告，不仅介绍当前流行的激光粒度仪的原理和技术特点，也介绍粒度仪应用于半导体陶瓷材料粒度测量的典型案例，并且提出应用时应该注意的事项。帮助用户了解结果的判断标准，建立测试的标准操作体系（SOP），关键是认识特定场景的适用性，并能够通过联合验证等组建完整颗粒表征体系。报告内容对于研发、工艺优化和质量控制都具有直接意义。对报告感兴趣的朋友，欢迎查看会议详情及报名。

关于报告人

张福根博士，珠海真理光学仪器有限公司董事长/首席科学家，全国颗粒表征与筛分及筛网标准化技术委员会副主任，天津大学兼职教授，中国颗粒学会常务理事，中国颗粒学会原副理事长。张博士本科和硕士分别毕业于浙江大学和南开大学物理系，博士毕业于天津大学光学工程专业。自1989年起，一直从事粒度测量技术的理论研究和产品开发。主持了激光粒度仪、颗粒图像处理仪、电阻法颗粒计数器、动态光散射纳米粒度仪等多种颗粒仪器的设计开发。先后创建了珠海欧美克仪器有限公司和真理光学仪器有限公司。

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