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“精度”是光刻机“卡脖子”的关键吗?先来认识“多层压电驱动器”吧!
2023年05月10日 发布 分类:行业要闻 点击量:602
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2018年,美国18岁高中生Sam Zeloof在自家车库中造出了第一个光刻“自制”(homemade)微芯片。自制的意思是,在他车库里包括光刻机在内的几乎所有设备,都是Zeloof网购和亲手改良的。而他的所谓光刻机其实就只是把一个投影仪改装后安装在显微镜上而已。

Sam Zeloof自制的光刻机

以上的故事说明,光刻机的原理和制造并不难,它“卡脖子”的关键其实在于精度(误差)——对光掩模和半导体基板的位置和姿态进行高精度的控制才能实现芯片设计、图案重复的要求;才能减少误差和重复,从而满足制造成本和效率要求。“多层压电驱动器”作为一种利用压电材料产生的机械应力来驱动某些系统的装置,它能实现精确位移控制,是光刻机、套刻量测设备等集成电路装备的关键元器件,对集成电路装备的精度有着重要的影响。

5月13-14日,CAC2023第二届广州先进陶瓷产业链展览会同期,将举办围绕先进陶瓷三个热门应用方向的创新发展论坛,上海材料研究所曾江涛研究员将分享题为“高性能多层压电驱动器在集成电路装备中的应用”的报告,介绍多层压电驱动器在集成电路中的应用,报告内容主要包括:

1)压电材料及多层压电驱动器的工作原理;

2)多层压电驱动器的国内外发展情况;

3)多层压电驱动器在集成电路装备中的应用。

报告人简介

曾江涛:上海材料研究所研究员/硕士生导师,上海市优秀技术带头人。2005年博士毕业于中国科学院上海硅酸盐研究所。曾在香港理工大学、英国伦敦大学玛丽女王学院从事访问研究。2006年8月至今2021年12月在上海硅酸盐研究所工作。2021年12月至今在上海材料研究所工作,任压电材料与器件中心副主任。主要从事铁电压电材料与器件的研究工作,主持各类科研项目10余项,发表SCI论文120余篇,获国家发明专利授权20余项。研究成果获2012年上海市技术发明一等奖及2015年中国科学院科技促进发展奖科技贡献一等奖。


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