张泽芳，上海映智研磨材料有限公司、临汾博利士纳米材料有限公司创始人。2008年进入中国科学院上海微系统与信息技术研究所攻读博士学位，从事蓝宝石和玻璃的CMP研究。2011年至2014年任中国科学院上海微系统与信息技术研究所助理研究员，负责下一代LED蓝宝石衬底、光学玻璃等抛光液的研究开发。2015年至2018年在复旦大学电子科学与技术博士后流动站从事科研工作，负责优化蓝宝石抛光液配方和铝合金抛光液配方。先后以第一作者发布SCI收录论文20余篇，授权专利10余项。在化学机械抛光领域代表期刊《Journalof ElectrochemicalSociety》以第一作者在国内外杂志上发表论文10余篇，被EI收录1篇。主持的重点项目：国家自然科学基金青年基金项目，新型LED蓝宝石衬底抛光液设计及其抛光机理研究；上海市科技型中小企业创新基金，新型蓝宝石抛光液的设计制备及产业化。参与国家十一五、国家十二五集成电路重大专项。被授予山西省青年拔尖人才、上海青浦区专业技术拔尖人才，曾获得中国科学院院长优秀奖等荣誉。

研究方向

1．半导体衬底的化学机械抛光

2．消费电子产品的化学机械抛光

3．纳米氧化硅的制备及其在无机涂料中的应用