半导体芯片为什么掺杂硼？可以掺镓吗？_粉体问答

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半导体芯片为什么掺杂硼？可以掺镓吗？

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dongyaning 发表于2020-08-18

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芯片掺硼与掺镓有什么区别？掺硼的优势是什么？

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1 # fyp15069017136

回复于2021-10-22 08:35:52

掺硼主要因为硼的分凝系数为0.8，接近于1。在拉晶过程中分布均匀，电阻率容易控制，可做出绝大部分符合产品电阻率性能的单晶硅。但是由于B—O对作为光致衰减的主要复合体影响了组件产品的周期性能。镓主要因为其对光衰无影响，成为目前单晶硅生产工艺得主要掺杂，可是由于其分凝系数极小，成品电阻率分布区间大，符合产品电阻率要求部分较少而制约其使用发展。