干式超声波清洗技术是一种高速气流与超声波共同作用，对超精密待清洗件（如半导体器件，玻璃或硅基板等）亚微米级别的污染物进行清洗的新型的超声波清洗机之干式清洗技术。一般包括三大系统：
空气循环系统；
清洗件传送系统；
超声清洗头。
空气循环系统利用负压作用将新空气不断吸入并净化后输入清洗头压力腔，同时利用离心力将内部空气不断送出；清洗件传送系统将待清洗件传送给超声波清洗头。

核心部件超声波清洗头主要有两类：一类空气流经特殊设计的变截面流道时，经激流震荡生成超声波，但这种超声波的强度弱，传递能量少。另一类内置超声波增幅器，超声波空气在大小约 0.3mm 的出口处体积迅速膨胀，达到一种“微型爆炸”的效果。高速气流和超声波的共同作用使污物微粒脱离悬浮，超声波的反射作用将微粒带动起来，由清洗头的真空吸附腔吸走并分离，这种清洗方式杜绝清洗剂对环境造成污染。

干式超声波清洗机清洗特点：

1、3μm及以上的非湿粘附性粉尘能90-100%去除。
2、干式清洗不需要更换換水或药液，洗后不用干燥，降低运行成本。
3、非接触式系统不会污染基板及損伤基板表面膜。
4、由於清洗机是闭环循环系統，不會污染洁净房。

干式超声波清洗机应用领域：

1、干式超声波清洗机在制药工业的应用
超声波清洗技术经过众多制药企业的应用而得到广泛使用，特别是对西林瓶、口服液瓶、安瓶、大输液瓶的清洗以及对丁基胶塞、天然胶塞的清洗方面，已经得到首肯。对于瓶类的清洗，是用超声波清洗技术代替原有的毛刷机，它经过翻转注水、超声清洗、内外冲洗、空气吹干、翻转等流程而实现的。

2、干式超声波清洗机在微粉业的应用
众所周知，要取得不同大小的颗粒，是把破碎料放在球磨机内研磨后，经过不同规格筛子层层筛分而得的。筛子长时间使用后，筛孔会被堵塞(如金刚石筛)，用其它方法刷洗会破坏筛子，且效果不理想，经过众多厂家的试验后，用超声波清洗，不仅不损坏筛子，而且筛子上面的堵塞颗粒完全被回收。

3、干式超声波清洗机技术在磷化处理中的应用
产品喷涂前处理工艺非常重要，一般的传统工艺使用酸液对工件进行处理，对环境污染较重，工作环境较差，同时，最大的弊端是结构复杂零件酸洗除锈后的残酸很难冲洗干净。工件喷涂后，时间不长，沿着夹缝出现锈蚀现象，破坏涂层表面，严重影响产品外观和内在质量。超声波清洗技术应用到涂装前处理后，不仅能使物体表面和缝隙中的污垢迅速剥落，而且涂装件喷涂层牢固不会返锈。

4、干式超声波清洗机对金属的清洗
众所周知，金属棒材经挤压成丝后，金属丝的外部往往有一层碳化膜和油，用酸清洗或其它清洗方法，很难让污物去除(尤其整盘丝)，超声波洗丝机是根据实际生产需要而设计的一种连续走丝，高效清洗设备，粗洗部分由清洗液储槽、换能器、循环泵、过滤器及配套管道系统组成，金属丝经超声波粗洗精洗后，再经过吹干，从而完成整个清洗过程。整套设备集成控制，简洁、方便、效果好，广泛用于钽丝、钨丝、钼丝、铌丝、铜丝(绝缘漆涂覆前)等其它金属丝。