1月8日，重庆两江新区2023年首批17个重大产业项目正式动工建设，其中包括北京奕斯伟科技集团有限公司（奕斯伟，ESWIN）在两江新区投资打造奕斯伟硅及碳化硅部件项目，将建设一座产能为每月3万个硅及碳化硅部件的生产工厂。

奕斯伟是一家集成电路领域产品和服务提供商，其硅材料业务主要包括半导体级12英寸硅单晶抛光片和外延片。据了解，该项目致力于生产晶圆制造必不可少的硅环和碳化硅环耗材，碳化硅环产品填补了国内该领域空白，对两江新区打造西南地区半导体产业高地具有重大意义。

聚焦环的作用是晶圆制造蚀刻过程中将晶圆固定在适当的位置以保持等离子体密度并防止晶圆的侧面受到污染。过去石英和硅被用于制造聚焦环，但随着在先进晶圆制造中干法蚀刻的使用超过湿法蚀刻的增加，要求良好的抗等离子轰击，优异的耐气体腐蚀，以及出色的抗热震和热应变能力，对由碳化硅(SiC)制成的聚焦环需求增加。

奕斯伟集团总经理王辉表示，两江新区产业基础完善、物流交通便利，将加快推动项目建设，助力两江新区集成电路产业发展。

参考来源：中国经济网

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