氢氧化锆的分子式为Zr(OH)4,它由一个锆离子(Zr4+)和四个氢氧根离子(OH-)组成。
半导体级多晶硅用于制备芯片、晶体管等器件时,需要在硅片表面制备绝缘栅极涂层,传统 SiO₂涂层介电常数低(ε≈3.9),难以满足高容量器件需求,而氢氧化锆焙烧生成的涂层是理想替代品。
多晶硅片(光伏电池用)需经过制绒、腐蚀、抛光等工序,传统腐蚀液(HF/HNO₃混合液)存在腐蚀速率波动大、硅片表面出现麻点 / 划痕等问题,氢氧化锆可有效解决这些缺陷。
技术原理
氢氧化锆 英文名称:Zirconiumhydroxide 分子式:H4O4Zr CASNO:14475-63-9 外观:白色粉末 EINECSNO:238-472-7 分子量:159.25 密度:3.25 包装:25kg/编织袋