氢氧化锆用于绝缘栅极涂层

氢氧化锆的分子式为Zr(OH)4,它由一个锆离子(Zr4+)和四个氢氧根离子(OH-)组成。

半导体级多晶硅用于制备芯片、晶体管等器件时,需要在硅片表面制备绝缘栅极涂层,传统 SiO₂涂层介电常数低(ε≈3.9),难以满足高容量器件需求,而氢氧化锆焙烧生成的涂层是理想替代品。

多晶硅片(光伏电池用)需经过制绒、腐蚀、抛光等工序,传统腐蚀液(HF/HNO₃混合液)存在腐蚀速率波动大、硅片表面出现麻点 / 划痕等问题,氢氧化锆可有效解决这些缺陷。

  1. 技术原理

    • 稳定腐蚀速率:氢氧化锆在腐蚀液中均匀分散,通过调节体系 pH(稳定在 2.0-2.5),抑制 HF 的过度电离,避免局部快速腐蚀;

    • 抛光增亮:氢氧化锆粉体作为软磨料,与硅片表面发生轻微机械摩擦,同时通过化学吸附去除表面氧化层,提升硅片表面平整度。


氢氧化锆 英文名称:Zirconiumhydroxide 分子式:H4O4Zr CASNO:14475-63-9 外观:白色粉末 EINECSNO:238-472-7 分子量:159.25 密度:3.25 包装:25kg/编织袋


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