高纯度 CeO₂光学薄膜
在光学镜头、激光窗口等领域，利用 CAN 分解产物纯净的特点，制备低散射、高透光率（可见光波段 > 90%）的 CeO₂减反射膜或保护膜。
掺杂复合薄膜
与硅酸乙酯（TEOS）共沉积，制备 CeO₂-SiO₂复合膜，调节折射率至 1.5-1.8，适配玻璃基底的减反射需求；
与硝酸锆共沉积，形成 CeO₂-ZrO₂薄膜，提升高温稳定性（耐 800℃以上氧化），用于汽车尾气传感器等高温器件。
半导体缓冲层
在硅基半导体器件中，通过 CAN-CVD 制备 CeO₂薄膜作为高 k 介电层缓冲层，利用其与硅基底的良好晶格匹配（CeO₂晶格常数 0.541 nm，硅为 0.543 nm），减少界面应力。
折射率减反射膜16774-21-3 硝酸铈铵
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