氧化铈减反射膜制备材料硝酸铈铵

氧化铈(CeO₂)减反射膜通过调控光的反射与透射,广泛应用于光学器件、光伏电池、显示器等领域。其制备材料需结合成膜机理、基底特性及应用场景综合选择,主要包括成膜核心材料、掺杂调节材料、基底材料及辅助材料四类


氧化铈减反射膜的核心成分是 CeO,但其直接成膜难度较高,实际制备中多采用铈基前驱体,通过热分解、化学反应等过程转化为 CeO。选择需满足溶解性、反应活性及成膜均匀性要求

无机铈盐:

硝酸铈(Ce (NO)6HO):水溶性好,成本低,是溶胶 - 凝胶法的常用前驱体,加热后分解为 CeO(反应:2Ce (NO) → 2CeO + 6NO↑ + O↑)。

氯化铈(CeCl7HO):易溶于水和乙醇,但含氯元素可能导致膜层残留杂质,需配合洗涤工艺使用。

草酸铈(Ce(CO)10HO):热稳定性适中,分解产物纯净(仅 CeO、CO),适合制备高纯度膜层。

有机铈盐:

硝酸铈铵((NH)Ce (NO)):氧化性强,在有机体系中溶解性好,可与醇类溶剂配合,用于化学气相沉积(CVD)的前驱体

CAN是硝酸铈铵的缩略写法



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