氧化铈(CeO₂)减反射膜通过调控光的反射与透射,广泛应用于光学器件、光伏电池、显示器等领域。其制备材料需结合成膜机理、基底特性及应用场景综合选择,主要包括成膜核心材料、掺杂调节材料、基底材料及辅助材料四类
氧化铈减反射膜的核心成分是 CeO₂,但其直接成膜难度较高,实际制备中多采用铈基前驱体,通过热分解、化学反应等过程转化为 CeO₂。选择需满足溶解性、反应活性及成膜均匀性要求
无机铈盐:
硝酸铈(Ce (NO₃)₃・6H₂O):水溶性好,成本低,是溶胶 - 凝胶法的常用前驱体,加热后分解为 CeO₂(反应:2Ce (NO₃)₃ → 2CeO₂ + 6NO₂↑ + O₂↑)。
氯化铈(CeCl₃・7H₂O):易溶于水和乙醇,但含氯元素可能导致膜层残留杂质,需配合洗涤工艺使用。
草酸铈(Ce₂(C₂O₄)₃・10H₂O):热稳定性适中,分解产物纯净(仅 CeO₂、CO₂),适合制备高纯度膜层。
有机铈盐:
硝酸铈铵((NH₄)₂Ce (NO₃)₆):氧化性强,在有机体系中溶解性好,可与醇类溶剂配合,用于化学气相沉积(CVD)的前驱体
CAN是硝酸铈铵的缩略写法