铬蚀刻剂是一种高纯度硝酸铈铵系统,用于铬和氧化铬薄膜精确、洁净的蚀刻。

硝酸铈铵在铜刻蚀技术中具有重要应用，主要基于其强氧化性，可将铜氧化从而实现刻蚀。相关介绍如下：

刻蚀原理：硝酸铈铵是一种强氧化剂，化学式为 (NH₄)₂Ce (NO₃)₆・2H₂O6。在铜刻蚀过程中，硝酸铈铵中的 Ce⁴⁺具有强氧化性，能将铜单质氧化为铜离子，自身被还原为 Ce³⁺，反应方程式可表示为：Cu + 2 (NH₄)₂Ce (NO₃)₆ = Cu (NO₃)₂ + 2 (NH₄)₂Ce (NO₃)₅。

蚀刻液组成1：硝酸铈铵可与硫酸等组成蚀刻液，如一种蚀刻铬铜金属的蚀刻液中，包含硫酸、硝酸铈铵、添加剂和水，其中硫酸浓度为 50-400g/l，硝酸铈铵浓度为 50-500g/l，添加剂浓度为 1-50g/l。

应用场景：硝酸铈铵常用于集成电路制造等领域的铜刻蚀工艺。例如在铜互连结构制造中，可采用湿法刻蚀工艺，利用硝酸铈铵和硝酸的混合液去除相关金属阻挡层，以便进行后续的铜电镀等工艺3。它还可用于印制电路板（PCB）制造中，对铜箔进行刻蚀，形成所需的电路图案。

优点：硝酸铈铵参与的刻蚀工艺具有一定优势，如刻蚀速率较快，能够提高生产效率；可通过调整蚀刻液成分和工艺条件，较好地控制刻蚀速率和刻蚀精度，满足精细线路制作的要求。

注意事项：硝酸铈铵是强氧化剂，使用时要避免与有机物、还原剂等接触，以防发生危险。同时，刻蚀过程中可能会产生一些氮氧化物等有害气体，需要做好通风等防护措施，确保操作环境安全。