100mm4英寸碳化硅晶锭晶体生产商
作为6英寸SiC晶锭生产商,恒迈瑞公司亦为客户提供100mm4英寸导电N型碳化硅晶锭晶体,单个晶锭厚度15-20mm左右,导电型碳化硅晶锭电阻率0.015-0.028Ω.cm,晶型为4H,掺杂氮。恒迈瑞供应测试D级为激光设备测试客户以低成本进行测试验证,产品P级为半导体生产需求客户供应。
碳化硅(Silicon Carbide,SiC)的切割是制备SiC晶片的关键步骤之一。由于SiC的高硬度和脆性,传统的切割方法难以满足其加工要求。金刚石线切割是一种常用的SiC切割方法,适用于大尺寸SiC晶片的制备。
优点:
高效率:金刚石线切割速度快,适用于大尺寸SiC晶片的批量生产。
低热损伤:切割过程中产生的热量较少,减少了对SiC晶体的热损伤。
表面质量好:切割后的表面粗糙度较低,适合后续的研磨和抛光。
激光切割是一种高精度和高效率的SiC切割方法,适用于复杂形状和微细结构的加工。
优点:
高精度:激光切割可以实现高精度和高分辨率的加工,适用于复杂形状和微细结构的制备。
非接触加工:激光切割是一种非接触加工方法,减少了对SiC晶体的机械损伤。
灵活性高:激光切割可以通过调整参数实现不同形状和尺寸的加工。

