台式扫描电镜拥有比光镜优异的多的放大倍数和大景深，同时对比大型落地电镜又有占地小、操作简便，价格低等优点，一经推出就受到广大客户欢迎。比如——

区别于众多台式扫描电镜，COXEM（库赛姆）的EM 30+没有简化配置，它的性能和功能基本等同于落地式电镜，例如一般台式电镜只配置一种探测器用于成像，和落地式电镜一样配置了SE（二次电子）探测器作为基础成像单元，并且分辨率提高到优于5nm的水平，远远领先于其他品牌，此外加速电压也达到了落地式电镜的30kV，加上专业的牛津/布鲁克能谱仪（EDS），使得台式电镜具备了完备的表面形貌及元素衬度的观测分析功能，对材料微区元素组成进行高效、稳定、准确的定性、定量分析，有针对性的满足客户的需求，可与传统大型扫描电镜相媲美。

一、最直观的观察

常见的如粒径分布、流动性、比表面积等理化参数可以从宏观角度对粉体表征，而扫描电镜可以做到从诸如粉体形态、组成、晶型、内部结构等微观角度观察分析，而这些往往起到决定性作用。扫描电镜的运用可以将宏观与微观相结合关联分析，对材料研发和质量控制提供坚实基础。

看似差不多的粉体样品，其实形貌千变万化：球状/片层/针状/块状...

同属球状颗粒，其组成状态及表面粗糙度也有极大区别

二、高分辨从容应对：不同粒度&不同分散状态的粉体

以激光粒度仪和纳米粒度仪为例，其量程范围分别适用于微米和纳米样品，扫描电镜则覆盖了从毫米级到纳米级样品的测量，不仅分辨率高，且放大倍数连续可调，COXEM的分辨率可达5nm。

微米级样品

纳米级样品

三、全面检测：SE/BSE同时成像 & 优异的元素表征

此处划重点，COXEM是同时拥有背散射电子成像（BSE）和二次电子成像（SE）功能的台式电镜。BSE探测器表征成分信息，SE探测器表征形貌信息，样品不论是粉体材料还是处理后产品，都可进行全面表征。另，能谱(EDS)则可以对颗粒组成元素表征，COXEM台式电镜可以在1-30kV加速电压下同时表征样品细节形貌和成分信息。

金属粉末样品

如图所示为金属钛和铝混合物

烧结陶瓷样品

左：SE起伏形貌信息 右：BSE成分衬度信息

左：FeSiAl片层样品 右：单个颗粒的能谱（EDS）细节分析

四、测得容易：自动化&智能化 解决方案

扫描电镜硬件本身再强大，也只能提供测量功能，当面对大批量粉体样品需要做统计性表征时，还必须拥有足够强的软实力。软实力主要包括自动功能提供的简便操作，比如自动聚焦、对中、亮度和对比度等自动成像功能；还有就是软件统计性分析及定制化能力，统计性分析能力可节省大量人力和时间成本并减少人工介入导致的误差，定制化能力则在面对复杂样品时根据特定需求完成分析任务。

左：光学导航可轻松找到感兴趣位置； 右：大样品仓可放入批次样品

团聚颗粒的识别

颗粒识别

左：混合样品 右：对该混合样品球形颗粒分类识别统计

结语

综上，COXEM（库赛姆）台式扫描电镜不仅具有可和大型电镜相媲美的超高分辨率，同时分析性能也很强悍，还具有超大的样品容量，能同时对多个样品进行分析并能智能区分杂质和一些元素。北京天耀科技有限公司作为台式电镜的领导者——COXEM（库赛姆）品牌中国区域战略合作伙伴， 拥有行业内经验丰富的资深技术人员与专业化销售团队，能够更准确把握市场方向，并以“优质客户服务”为导向不懈耕耘。粉体圈谨代表广大台式电镜用户感谢天耀科技对本文的贡献。

粉体圈 启东

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