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流化床制备多晶硅颗粒技术再获进展
2016年04月07日 发布 分类:行业要闻 点击量:5225
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日前徐州市科技局传来消息,2015年度的科学技术奖获奖名单出炉,由江苏中能硅业科技发展有限公司完成的 “硅烷流化床颗粒硅高效沉积工艺及关键设备开发”项目获得一等奖。

 

流化床法的工艺简图

 

硅烷流化床法是指,将硅烷通入加有小颗粒硅粉的流化床反应炉内进行连续热分解反应,生成粒状多晶硅。

 

该项目设计开发出大型、高压流态化反应器,单套产能达到3000吨/年,为世界最大的单套流化床颗粒硅生产装置;采用碳化硅涂层技术,增加了内衬的防磨蚀能力,减少了产品污染,提升了品质,为国内首创,为同行业的技术进步起到了标杆作用。

 

随着流化床法在纯度方面的困扰逐步解除,现有技术已完全具备低成本电子级硅料的生产能力。流化床法将有可能凭借其独有的成本优势和纯度保证,成为行业的下一个选择。

 

粉体圈 作者:郜白


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