六方科技半导体托盘SiC/TaC涂层材料项目奠基

发布时间 | 2025-01-24 14:39 分类 | 企业动态 点击量 | 178
石墨 碳化硅
导读:1月18日,浙江省绍兴市诸暨市,浙江六方半导体科技有限公司(六方科技)集成电路先进制程精密零部件新材料项目(半导体托盘SiC/TaC涂层材料项目)举行奠基仪式。

1月18日,浙江省绍兴市诸暨市,浙江六方半导体科技有限公司(六方科技)集成电路先进制程精密零部件新材料项目(半导体托盘SiC/TaC涂层材料项目)举行奠基仪式。

六方科技披露资料显示,碳化硅晶圆生长热场材料中的石墨材料与碳碳复合材料很难满足2300℃的复杂气氛(Si、SiC₂、Si₂C )工艺。不仅使用寿命较短,不同部件一至十炉一换,而且高温下石墨的渗析与挥发易导致碳包裹物等晶体缺陷产生。为了确保半导体晶体的高质量和稳定生长,并考虑工业化生产成本问题,在石墨件表面制备超高温耐腐蚀陶瓷涂层,将延长石墨组件的寿命,抑制杂质迁移而提高晶体纯度。而在碳化硅外延生长中,通常采用碳化硅涂层石墨基座承载并加热单晶衬底,其使用寿命仍有待提高,并且需要定期清洁界面上的碳化硅沉积物。相比之下,碳化钽(TaC)涂层更耐腐蚀气氛与高温,是此类 SiC 晶体“长大、长厚,长好”的核心技术。而半导体涂层材料作为各类芯片上道工艺的关键耗材,一直以来被国外领先的企业垄断,但在全球技术竞争的大背景下,该类材料的国产化日益紧迫。


晶圆托盘:左边的涂有TaC涂层,右边涂有SiC涂层

六方半导体是成立于2018年的半导体涂层材料公司,以SiC涂层为切入口,并已向TaC涂层、Solid SiC领域拓展,主要产品包括应用于LED外延、第三代半导体外延、光伏领域的SiC涂层材料等。2024年第十三届中国创新创业大赛(浙江赛区)暨第十一届浙江省“火炬杯”创新创业大赛,六方科技展示了其在半导体涂层技术领域的最新成果。其研发的涂层产品在提升半导体器件性能、延长器件寿命等方面展现了显著的优势,获得了评委和观众的高度评价,在激烈的竞争中脱颖而出,荣获一等奖。

在资本市场,六方科技先后完成由立昂微、江丰电子的战略投资,如山资本、中南创投、杭州金投投资,以及后续轩元资本、劲邦资本领投,倍特基金、立元创投的跟投,并且已有金瑞泓、晶睿科技、华灿光电、兆驰股份等30多家大客户建立合作。

 

粉体圈 整理

作者:粉体圈

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