标准编号：GBT 10118-2023
起草单位：有研国品辉新材料有限公司、朝阳金美镓业有限公司、广东先导微电子科技有限公司、成都中建材光电材料有限公司,东方电气(乐山)峨半高纯材料有限公司,有色金属技术经济研究院有限责任公司、武汉拓材科技有限公司、楚雄川至电子材料有限公司,株洲科能新材料股份有限公司云南锡业新材料有限公司。
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)与全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC203/SC2)
发布日期：2023-12-28
实施日期：2024-07-01
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