硝酸锆制备ZrO₂薄膜的核心优势:
原料成本低、易获取(纯度可达 99.9%)
工艺简单,无需特殊设备
薄膜均匀性好,厚度可控(50-500nm)
可在多种基底上沉积(玻璃、硅片、金属等)
适合实验室研究和工业规模化生产
中文名称:硝酸锆 英文名称:Zirconium(IV)nitrate CAS号:13746-89-9 分子式:N4O12Zr 分子量:339.2436 关键字:13746-89-9 ;