日前，湖南德智新材料有限公司（德智新材）完成了由国风投（北京）智造转型升级基金联合博华资本（无锡基金）、元禾重元、恒信华业联合领投，中信证券投资、中车资本、山证投资、交银国际、国舜投资等进行的C轮数亿元融资，并将投入德智新材株洲、无锡两地产能扩建与研发。

湖南德智新材料有限公司

据悉，德智新材成立于2017年，致力于碳化硅纳米镜面涂层及陶瓷基复合材料研发，生产和销售，是目前国内唯一实现12寸大硅片外延用碳化硅涂层石墨托盘量产出货、实体碳化硅刻蚀环导入的企业。

碳化硅涂层石墨托盘

碳化硅涂层石墨托盘通常是一种在高温、腐蚀性气氛或其他苛刻环境下使用的高性能工业托盘。这种托盘的结构一般是由石墨基材通过化学气相沉积（CVD）涂覆一层碳化硅（SiC）涂层而成。碳化硅涂层赋予了托盘较高的高温稳定性，可以耐受1200℃以上高温；还有化学稳定性，使得托盘能够在腐蚀性气氛下工作；还能增加硬度和耐磨性；其他还包括抗热震性以对抗温度快速变化等等。在半导体芯片制程中，硅片制造、外延生长、刻蚀、离子注入及氧化扩散等工序中大量使用到石墨与SiC部件。SiC涂层可保护石墨基座盘基体材料，提高性能，净化外延生长环境，延长石墨部件的使用寿命。

德智新材拥有自主研发的生产设备，具备石墨纯化、精密加工、精密检测、CVD涂层等完整的生产制造链，在SiC涂层石墨工件设计、加工及CVD工艺等方面具有核心专利技术和竞争优势。在CVD工艺上，德智新材自主研发沉积设备，并具备从学术到量产的多年工艺积累，拥有对产品应用场景的深刻理解及灵活定制的材料设计制造能力。目前，德智新材已开发LED外延设备用组件、三代半外延设备用组件、硅基外延设备用组件、SiC刻蚀环、SiC晶舟等一系列半导体用SiC部件制品。

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