产品简介
非接触式气浮板采用铝合金底座与氧化铝多孔陶瓷板面。压缩空气经多孔陶瓷均匀释放，在气浮板与平面工件之间形成微米级气膜，实现非接触悬浮承载与搬送，有助于减少接触划伤，适用于玻璃基板、大尺寸晶圆等平板类产品的运输和传送。
供气压力：≤0.2 MPa 气膜厚度：50～300 μm 宽度：100 mm 支持按工况定制
核心优势
01 均匀微孔布气 氧化铝多孔陶瓷节流结构使气流均匀分布，为平面工件提供悬浮支撑。 | 02 非接触搬送 通过气膜隔离工件与板面，有助于降低接触摩擦及表面划伤风险。 |
03 有槽与无槽可选 ASP-PS为表面无槽系列，ASP-GS为表面有槽系列，可根据工况选型。 | 04 多规格安装 提供250、500、750、1500 mm长度，采用M5螺栓水平固定安装。 |
主要技术参数
| 产品名称 | 非接触式多孔陶瓷气浮板 |
| 系列型号 | ASP-PS（表面无槽）/ ASP-GS（表面有槽） |
| 材料结构 | 铝合金底座 / 氧化铝多孔陶瓷板面 |
| 规格（宽度） | 100 mm |
| 长度 | 250、500、750、1500 mm |
| 正压 / 负压接口 | G1/8 |
| 正压接口数 | 1个 |
| 负压接口数 | 2个/250 mm |
| 平整度 | 20 μm/m |
| 供气压力 | ≤0.2 MPa |
| 气膜厚度 | 50～300 μm |
| 承载力 | ≥350 kg/m²（@0.2 MPa） |
| 耗气量 | 20 LPM/500 mm（@0.2 MPa） |
| 压缩空气等级 | ISO 8573-1，1.6.2级洁净空气 |
| 安装位置 / 方式 | 水平安装 / M5螺栓固定 |
| 重量 | ≤3.8 kg/500 mm |
说明：参数依据2026.10版选型手册。承载力与耗气量对应0.2 MPa供气条件，耗气量和重量按500 mm长度计。选型需结合工件尺寸、重量、目标气膜厚度及安装空间，最终参数以确认图纸为准。
典型应用
玻璃基板搬送 平板玻璃及玻璃基板非接触运输
晶圆搬送 大尺寸晶圆等平面工件悬浮承载
精密制造产线 对工件表面质量要求较高的平板类产品传送
定制选型与技术咨询
江苏源瓷新材料科技有限责任公司
章小姐：18923874410
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