氟化钇（YF₃）是一种重要的无机化合物，由钇（Y）和氟（F）元素组成，通常呈现白色粉末状或结晶形态，具有高熔点、化学稳定性强及优异的光学、电学性能1. YAG 晶体端面增透膜（AR 膜）

多层膜系典型搭配：(YF3)（低折射率层） + 高折射率材料（Ta2O5、HfO2、Y2O3）✅优势：

• 和 YAG 晶体基底附着力优良；膜层应力低，大功率泵浦不易脱膜、开裂

• 1064nm 波段本征吸收极低，提升激光器输出效率

• 相比(MgF2)氟化镁：硬度更高、耐湿热、抗水汽渗透，适合工业高功率固体激光器长期工作

2. 激光晶体保护膜 / 防潮膜

YAG 晶体加工后表面存在微缺陷；单层 / 复合\(\ce{YF3}\)薄膜隔绝空气水汽，抑制表面潮化、氧化，提升晶体使用寿命。

3. 激光谐振腔高反膜（HR 膜）低折射率层

用于 YAG 激光器腔镜、输出耦合镜多层介质膜。

补充区分：电子束蒸发用氟化钇颗粒；磁控连续镀膜生产线选用氟化钇溅射靶材，膜层致密性远高于蒸发膜，激光损伤阈值显著提升