硝酸铈铵是 LCD/OLED 玻璃超精密抛光的 “源头核心材料”：高纯度 CAN 制备的纳米 CeO₂抛光液，能实现玻璃基板原子级平坦、高去除速率、低缺陷，同时适配铬掩模高精度蚀刻。

关键规格（LCD/OLED 级）

• 纯度：4N（99.99%）/5N（99.999%），Fe、Cu、Ni ≤ 1 ppm（防止金属污染导致电路短路）。

• 外观：桔红色结晶，水溶性好（易配高浓度抛光液）。

• 粒径：前驱体热解后 CeO₂50–200 nm，单分散无团聚。

五、应用场景全链路

1. 玻璃基板：TFT-LCD/OLED Array 基板、Color Filter 基板 CMP 平坦化。

2. 盖板玻璃：手机 / 平板钢化玻璃、UTG 超薄玻璃（OLED 折叠屏） 超精抛光。

3. 光掩模：LCD/OLED 铬版掩模 蚀刻 + 表面抛光。

4. 半导体：晶圆、SiC/GaN 衬底 CMP（延伸应用）。

六、工艺要点

• 抛光液配比：10–20 wt% 纳米 CeO₂ + 去离子水 + 分散剂（防团聚） + pH 调节剂（弱碱性）。

• 抛光参数：压力2–5 psi、转速50–150 rpm、温度25–40℃，精准控制去除量与表面质量