硝酸铈铵（CAN，化学式 (NH₄)₂Ce (NO₃)₆）是 LCD/OLED 玻璃化学机械抛光（CMP） 的关键前驱体与功能性原料，核心用于制备高纯纳米氧化铈（CeO₂）抛光液，兼顾玻璃基板平坦化与铬掩模蚀刻双功能。

一、核心作用：CeO₂抛光液前驱体

LCD/OLED 玻璃（TFT 基板、盖板、掩模基板）超精密抛光主流采用CeO₂基 CMP 抛光液，而高纯度 CAN 是制备单分散纳米 CeO₂的最优前驱体：

• 工艺：≥4N（99.99%）CAN经热解（~200℃）/ 水热法生成粒径均匀、无杂质残留的纳米 CeO₂颗粒。

• 原理：CeO₂兼具适中硬度（莫氏 6.5） 与化学活性，对玻璃（SiO₂）发生 “机械磨削 + 化学软化” 协同作用，实现原子级超光滑表面。

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二、LCD/OLED 玻璃抛光关键价值

1. TFT 玻璃基板精密平坦化

• 表面粗糙度：Ra ≤ 0.1 nm（原子级平坦），无划痕、麻点、雾状散射。

• 效率：较传统 Al₂O₃抛光粉提升 20%+，良率显著提高。

• 平整度：全局平整度（GBIR）≤50 nm，满足高分辨率面板（如 8K）制程要求。

2. 盖板玻璃（Cover Glass）超精抛光

• 去除微观缺陷，提升透光率（≥92%） 与耐刮性，适配 OLED 柔性屏曲面抛光。

3. 光掩模（Chrome Mask）蚀刻 + 抛光

• CAN 溶液（≥99.9% 纯度）作为铬层专用蚀刻剂，酸性条件下精准蚀刻铬膜，线宽精度 **±0.1 μm**，不损伤光刻胶，用于面板掩模精细图案化。