只蚀铬,不蚀玻璃 / 石英石英、玻璃在 CAN 体系中完全不腐蚀,掩膜基板不变形、不发雾。
对光刻胶友好,不脱胶、不溶胀OLED 用正胶 / 负胶(如 KLT、SU-8)都兼容,低温(25–35℃)、酸性温和,不会把胶咬坏。
侧蚀极小(undercut < 0.1 μm),线条陡直OLED 像素越来越小(Micro OLED、柔性 OLED),线宽要求 0.5–2 μm,CAN 是湿法里侧蚀最小的体系。
纯度高、杂质少,无 Na/K/Cl⁻电子级 CAN(99.5%+),无氯离子、无重金属,不会造成 OLED 屏脏点、色差、漏电。