京瓷于2022年10月17日宣布，它已开发出一种用于制造氮化镓基微光源的专用硅基衬底和一种使用该衬底的新工艺。目前这种工艺已实现了100微米激光器的振荡，京瓷认为这是世界首创。

京瓷开发的100μm激光器振荡状态

研发背景

尺寸小于100微米的微光源包括短腔激光器和微型LED。由于其高清晰度、紧凑和轻质的特点，这些产品正在被用于下一代汽车显示器、智能眼镜、电信和医学等领域。

然而，LED和激光器等氮化镓光源的制造存在一些问题，例如在制造过程中将微小的器件从衬底上分离出来极其困难，而且缺陷密度高，导致质量不稳定——若使用蓝宝石衬底的制造方法，会存在制造成本高的问题；但若使用更便宜的硅衬底，则会难以剥离器件层。

新工艺介绍

京瓷这次开发的新工艺使用了一种阻止氮化镓层生长的掩蔽材料，使器件层变得易于剥离，而且使用硅基材还可以降低生产成本。其具体的过程是：首先在一个低成本的硅衬底上生长出一个氮化镓层，其直径可以变大；然后用一种阻止其生长的材料对氮化镓层进行遮蔽，并在中心开一个孔；随后继续沉积氮化镓层，此时氮化镓就会在开口处继续生长。通过横向沉积，最后可以沉积出具有低缺陷密度的高质量氮化镓层，并在这个低缺陷区域制造出器件。

之后，京瓷将为新开发的微光源提供广泛的平台技术（衬底和工艺技术），并在不久的将来将高质量、低成本的微光源推向市场。

粉体圈Coco编译

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