武汉总投15亿(半导体及泛半导体)碳化硅制造基地正式投产
2023年12月13日 发布
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据湖北日报报道,12月8日,总投资约15亿元的吉盛微公司武汉碳化硅制造基地在武汉经开综合保税区正式投产,主要生产半导体产业链关键设备的零部件和耗材。 据悉,今年2月在上海举行的2023武汉招商引资推介大会上,盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司签约本次项目。近年来,盛吉盛半导体致力于推动半导体设备和关键零部件国产化,已有多款设备和零部件交付国内龙头客户。今年3月,吉盛微(武汉)新材料科技有限公司成立,主要从事半导体及泛半导体设备用CVD Sic原材料及Sic 部件(Ring、Shower Head、Boat、Fin、Tube、plate、Susceptor、Bolt、Pin等)、超高纯高精密陶瓷材料及部件、Sic Epi Wafer、CVD Sic设备的研发及生产制造。6月启动生产线设计施工,8月入驻试生产。 随着基地项目正式投产,吉盛微已经完成了刻蚀、扩散、外延、快速热处理等多个工艺的零部件、耗材开发工作,部分产品填补了国内空白,初步具备稳定的生产供货能力。 粉体圈 整理 相关标签:
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