核心加工对象:金属铬、氧化铬、镍‑铬合金,薄铜膜;基材:石英、光学玻璃、TFT 玻璃、SiO₂,对光刻胶选择比高,无氯离子污染。
石英基板上铬遮光层湿法图形化,半导体、面板曝光用铬版,线宽可达亚微米级别。
工艺:CAN‑高氯酸体系,浸泡鼓泡蚀刻;侧壁陡直,侧蚀小;不腐蚀石英基底、光刻胶。
产品:IC 光刻掩膜、LCD/OLED 曝光铬掩模版、科研实验室光刻铬版。
1)TFT 阵列基板:铬金属栅极、铬布线、遮光层图形蚀刻,玻璃基板,不能有氯离子残留,避免器件漏电缺陷。 2)OLED 器件:镍‑铬合金电阻层、铬隔离层的精细蚀刻;部分工艺用于去除基板表面残留铬膜。
面板产线多用CAN‑硝酸配方,成本均衡;高端掩膜使用 CAN‑高氯酸配方。
1)光学玻璃、棱镜、滤光片表面镀金属铬遮光膜,光刻后用 CAN 蚀刻做出遮光狭缝、遮光栅格、光阑图形;只蚀铬膜,不损伤光学玻璃基材与光学镀膜基底。 2)光学石英器件:石英窗口铬掩膜图形加工。
区分:硝酸铈铵做蚀刻液是后道薄膜图形化;作为玻璃熔制原料是玻璃熔体内部脱色,二者用途完全不同。

薄膜电阻芯片、传感器,Ni‑Cr 合金薄膜图形化,制备精密电阻线路。
特点:铬、镍同步均匀溶解,不易产生膜层剥落断线,电阻阻值一致性好。
高密度精细线路板,蚀刻薄铜膜、铬‑铜复合层;线宽≤50μm,替代三氯化铁蚀刻液,无氯离子,线路边缘毛刺少,基材环氧板不受侵蚀。
厚膜混合集成电路,基板上铬金属层图形化。
1)砷化镓 GaAs 基光电器件,局部湿法选蚀;对 SiO₂、Si₃N₄几乎无腐蚀,可做选择性剥离工艺。 2)MEMS 微器件:铬牺牲层、铬掩模层蚀刻。 3)实验室小试:科研光刻样品、薄膜样品的铬膜图形加工,是实验室标准铬蚀刻试剂。
光学掩膜、玻璃基板返工,选择性去除多余铬膜,在不破坏石英 / 玻璃基底前提下清除铬层,用于不良品修复。