一、光学镀膜材料
宽透过区间:193nm深紫外~12 um中远红外,低折射率、薄膜应力低、耐潮湿、激光损伤阈值高,是红外系统核心低折射率镀膜材
料。
1.中远红外增透膜、保护膜
8-12um大气窗口热像仪、红外测温仪、车载红外镜头、夜视仪、激光测距仪、错窗口/硒化锌窗口镀膜;可替代有毒氟化针。相比
MgF2薄膜更致密、抗潮,适合户外、机载、航天红外光学系统。
2.大功率激光光学镀膜
固体激光器窗口、透镜、分光镜多层膜;准分子深紫外光学元件膜层。
3.光谱仪、干涉滤光片、双色镜多层光学薄膜;可蒸镀、溅射制备薄膜。
二、激光材料、发光基质
1.上转换发光材料基质:掺杂Er、Yb、Tm等离子,制备上转换荧光粉体,用于生物荧光成像、防伪、红外探测。
2.氟化物激光晶体前驱体;制备氟化物透明陶瓷激光介质。
三、特种玻璃&红外光纤
1.ZBLAN重金属氟化物光纤原料(中远红外光纤,用于红外传感、光谱检测);
2.氟氧化物透明玻璃、旋光玻璃、红外光学玻璃添加剂,提升红外透过、降低玻璃析晶倾向。
电解制备金属钇、钇稀土合金核心原料:氟化钇 + 金属钙热还原得到金属钇;稀土熔盐电解体系电解质组分。
等离子刻蚀腔体防护涂层氟基等离子环境下耐腐蚀,相比氧化钇产尘更少,降低晶圆污染,用于刻蚀机内衬涂层;
深紫外光刻光学元件镀膜。