一、镀膜前处理：玻璃表面微蚀刻（磁控溅射前必备）

1. 作用

• 轻度蚀刻玻璃表面，形成纳米级均匀粗糙面（Ra 0.05–0.1 μm）

• 去除油污、浮尘、氧化层，提高后续 TiO₂、Ag、ITO、Low‑E 膜附着力（可达 0 级）

• 避免真空镀膜出现脱膜、鼓泡、针孔

2. 配方（常温工作液）

• 硝酸铈铵（CAN）：0.5 wt%

• 去离子水：99.5 wt%

• 可选：微量 HNO₃ 调 pH=2–3（稳定 Ce⁴⁺）

3. 工艺步骤

1. 玻璃先经中性清洗剂 + 纯水超声清洗（5–10 min）

2. 浸入 0.5% CAN 溶液，25–35℃，3–5 min

3. 取出，纯水溢流冲洗 2–3 min

4. 热风烘干（80–100℃），立即进入真空镀膜

4. 效果

• 附着力：0 级（百格测试不掉膜）

• 湿热老化：60℃/95% RH，1000 h 无鼓泡、不脱落

二、主镀膜：溶胶‑凝胶法制备 SiO₂‑CeO₂ 节能复合膜

1. 作用

• 可见光增透：透光率 92–98%，反射率降至 1–2%

• 紫外屏蔽：200–350 nm 紫外屏蔽≥99%，抗老化、不泛黄

• 隔热节能：CeO₂ 对近红外有选择性吸收，降低传热系数

• 硬度 / 耐候：膜层5H+，耐酸碱、耐盐雾，户外寿命长

2. 典型溶胶配方（质量比）

• 硝酸铈铵（CAN）：1.0–2.0 wt%（电子级 ≥4N）

• 正硅酸乙酯 TEOS：10–15 wt%

• 无水乙醇：70–80 wt%

• 去离子水：5–10 wt%

• 硝酸（催化剂）：0.1–0.3 wt%（调 pH=1–2）

3. 配制步骤

1. 乙醇 + 水 + HNO₃ 混合，搅拌 10 min

2. 缓慢加入 TEOS，40–50℃ 水解 30 min

3. 加入 CAN，搅拌至完全溶解（透明橙黄色溶胶）

4. 室温熟化 24–48 h，0.2 μm 过滤备用

4. 镀膜施工（三种常用）

• 浸涂（建筑大板首选）：提拉速度 10–20 cm/min，湿膜均匀

• 喷涂（异形 / 汽车玻璃）：喷枪 0.8–1.2 mm，压力 0.4–0.6 MPa

• 旋涂（小面积 / 光学玻璃）：转速 3000–5000 rpm，膜厚均匀

5. 固化工艺（关键）

• 低温预烘：100–150℃，15–30 min（脱溶剂、铵盐分解）

• 高温固化：250–350℃，30–60 min（CAN → CeO₂，与 SiO₂ 形成复合膜）

• 钢化玻璃：≤300℃，避免钢化失效