
硝酸铈铵是电子半导体领域高精度铜基刻蚀的核心专用强氧化剂,凭借高刻蚀效率、极致基材选择性、工艺易控性等核心优势,成为 PCB 精细线路、LCD 液晶玻璃、半导体铜布线、薄膜晶体管(TFT)背光源等微纳刻蚀工序的优选材料,完美匹配电子半导体制造小型化、高密度、高良率的生产需求,是替代传统刻蚀剂的高效升级方案。
刻蚀效率优异,适配规模化生产:中低温(60℃左右)下即可实现铜靶材快速氧化刻蚀,1 小时铜降解率达 99%,无需高温高压加持,在保证刻蚀效果的同时大幅提升生产节拍,适配电子半导体行业大规模连续生产需求。
极致基材选择性,避免过刻蚀损伤:Ce⁴⁺仅靶向氧化刻蚀铜层,对硅片、液晶玻璃基板、陶瓷基底、光刻胶等半导体核心基材无腐蚀、无损伤,彻底杜绝过刻蚀导致的线路短路、基材破损,刻蚀精度可达微纳级别,匹配精细线路加工要求。
反应进程可视化,刻蚀精度精准可控:刻蚀过程中随 Ce⁴⁺消耗,溶液从标志性橙色逐步变为淡黄色,无需额外检测设备即可实时判断刻蚀终点,精准把控处理时长,有效避免刻蚀不足 / 过度问题,大幅提升产品良率。
电子级高纯适配,无杂质污染风险:可量产 99.99% 及以上电子级高纯品,Fe、Ca、SO₄²⁻等杂质含量控制在 ppm 级,刻蚀过程中不向半导体晶圆、玻璃基板等核心基材引入杂质,避免杂质导致的元件导电性下降、信号损耗等问题,符合 RoHS/CE 环保认证标准。
刻蚀体系稳定,均匀性拉满:水溶性优异(25℃溶解度 1.41g/mL),可配制成任意浓度的均匀水溶液刻蚀液,无沉淀、无分层,能与基材表面充分接触,保证刻蚀后线路边缘平整、无毛刺,解决传统刻蚀剂体系不均导致的局部刻蚀深浅不一问题。
环保可循环,降本增效:刻蚀后生成的 Ce³⁺可通过电解 / 化学氧化简单再生为 Ce⁴⁺,循环利用率超 85%,大幅减少含铈废液排放,契合电子半导体行业严苛环保要求,同时降低原料单次使用成本,实现环保与经济效益双赢。
PCB 电路板:高密度精细线路铜层刻蚀,适配柔性 PCB、高频 PCB 等高端电路板加工;
LCD/LED 液晶玻璃:玻璃基板铜电极微纳刻蚀,提升显示面板透光率与信号传输效率;
半导体器件:晶圆铜布线、微纳结构铜层刻蚀,匹配半导体芯片小型化加工需求;
薄膜晶体管(TFT):背光源、驱动电路铜靶材专用刻蚀,适配平板显示、OLED 器件制造。