核心应用:用于 PCB 精细线路的干法 / 湿法蚀刻,尤其适用于高密度互连(HDI)电路板的微米级线路制作。
工艺参数:
蚀刻液配方:硝酸铈铵 0.5 mol/L + 硝酸 1 mol/L,pH 1.0-1.5;
蚀刻温度:30-40℃,蚀刻速率可控(通过调节温度和浓度),线路精度可达 ±5μm;
优势:蚀刻后铜表面光滑,无过蚀刻现象,相比氯化铁蚀刻液,废液处理成本降低 40%(\(\ce{Ce^{3+}}\) 可氧化再生为 \(\ce{Ce^{4+}}\) 循环使用)。
硅片掺杂:作为铈离子掺杂源,用于制备Ce 掺杂硅基发光二极管(LED),铈离子可提升硅材料的发光效率,适用于近红外光电器件;
晶圆清洗:与双氧水复配制成清洗液,去除硅片表面的金属杂质(如铁、铜、铝),杂质去除率达 99.9%,满足半导体级硅片的纯度要求。
用于ITO 导电玻璃的表面改性:将硝酸铈铵溶液涂覆于 ITO 玻璃表面,经高温焙烧(500℃)形成 \(\ce{CeO_{2}}\) 涂层,可提升 ITO 玻璃的耐腐蚀性和导电稳定性,适用于柔性 OLED 显示屏。