光学领域

减反射膜：在光学镜片和太阳能电池上形成均匀 CeO₂薄膜，使透光率提升至 98% 以上，减少反射损失。

• 太阳能电池应用：减少表面反射 (从 30% 降至 5% 以下)，增加光吸收，提高光电转换效率 10-15%

高折射率光学材料：用于制备望远镜、显微镜等高精密光学元件，提高成像分辨率和对比度。

2. 电子与半导体

集成电路抛光材料：

• 用于硅片和蓝宝石衬底的化学机械抛光 (CMP)，利用 CeO₂的高硬度和化学活性实现超平坦化，表面粗糙度 < 1nm

• 在先进制程 (7nm 以下) 中作为关键材料，确保全局平坦化

半导体掩膜版蚀刻：

• 高纯度 CAN 溶液 (≥99.9%) 作为铬掩模蚀刻液，具有选择性高、蚀刻速率可控 (50-200nm/min)、不损伤光刻胶等优势，广泛应用于面板和芯片制造