‍‍‍‍ParticleX 主要用于杂质或颗粒物的综合评估，可以自动获取大量颗粒的微观形貌 和成分信息，具体包括：‍

‍‍• 颗粒粒度分布
• 颗粒形貌分析
• 杂质成分检测
• 高分辨率成像（10 nm 分辨率）‍

‍‍ParticleX 以扫描电镜和能谱仪为基础，结合自动控制系统以及强大的数据库系 统，可以全自动对杂质颗粒进行快速识别、分析和分类统计，为客户的研发以及生 产提供快速、准确和可靠的定量数据支持。‍‍‍‍

‍‍‍‍产品参数

‍‍光学显微镜：放大 3-16 倍

电子显微镜：100,000 倍

探测器：高灵敏度四分割背散射电子探测器

灯丝材料：1,500 小时 CeB6 灯丝

分辨率：优于 10 nm

放置环境：采用专业防震设计，可摆放于普通实验室或办公室、厂房

加速电压：5kV-20kV 连续可调

抽真空时间：小于 30 秒

能谱仪：可选配能谱仪‍‍‍‍

‍‍‍‍复纳科学仪器 (上海) 有限公司 (Phenom-China)，‍‍负责 荷兰飞纳台式扫描电镜在中国市场的推广和销售，提供专业的技术支持和测试服务，飞纳中国拥有专业的服务团队，提供优化的解决方案；飞纳中国提出飞纳学校 （Phenom University）的概念，为用户提供从扫描电镜基础理论到 Level 5 应用工程师的进阶培训，在上海、北京、广州设立了测试中心和售后服务中心，目前飞纳在中国已经拥有接近 1000 名用户。‍‍