半导体器件对硅晶片有非常严格的要求，只有近乎完美的晶片才能避免对器件非常有害的电学和机械缺陷。为了尽量向“完美无瑕”的程度靠拢，硅片需要经历整型、切片、研磨、清洗等多个步骤。在这些工序里，硅片们都需要一个可以安置并能“固定”好它们的工作台，因此“陶瓷真空吸盘”就派上了用场。

陶瓷真空吸盘是一种利用纳米粉体生产出来的均匀的实心或者真空体，通过高温烧结在材料内部生成大量彼此连体或闭合的陶瓷材料，常见的材质有Al₂O₃或碳化硅，常应用于半导体电子器件领域。在应用场合中，它能通过真空吸力将半导体片、玻璃基板材料等工作物固定住。相对于传统吸盘对于工件单一化规格吸附的特性来说，陶瓷真空吸盘的区域性吸附功能，更有助于提升产线流畅度及其效能，还可以避免传统吸盘对工件（尤其是薄膜材料）的刮伤和吸痕。

传统吸盘和陶瓷吸盘的对比

除了用于吸附工件外，陶瓷真空吸盘还可以在传输型气浮模组中使用，就算是大片的玻璃基板等工件，也能让它们在输送与移载过程中不直接与平台接触到，避免污染物附着、应力、静电及损伤玻璃基板的情形发生。而且多孔性材质可大幅降低气体流量，还能达到气垫层气压均匀，能保持一定漂浮高度的效果。

传输型气浮模组

品质要求

既然是为了加工而服务，陶瓷真空吸盘就需要满足高品质工件的几大诉求。来自专业生产陶瓷真空吸盘的深圳方泰新材料技术有限公司的张术生经理认为，优秀的陶瓷真空吸盘需要具备以下几点：

① 洁净度：避免硅片在加工的过程中被Na⁺、Al⁺等杂质污染；

② 通透性强：均匀透气和透水，保证了硅片的均匀受力和牢固吸附，在磨削过程中不滑动；

③ 结构致密均匀：不易吸附硅粉磨屑，吸盘易于清洗；

④ 强度高：在磨削时无形变，保证硅片在磨削时各点受力均匀，不易产生崩边、碎片等现象；

⑤ 易于修整：修整时不会出现破裂、碎块、脱粒等现象；

⑥ 绝缘性高：绝缘性材质，消除静电。

最后，谁都不希望自己的“工作台”经常需要更换，因此耐用性也是很重要的考虑因素。

要达到这些要求，精湛的制备技术是必要的条件。据张经理介绍，为了达到最理想的效果，在原料上方泰选择了质量更稳定的日本进口陶瓷粉体，采用干压成型法成型并在1200~1400℃下进行烧结。不仅通孔率在40%以上，而且孔径足够均匀，很好地保证了吸附力的均匀性。

市场状况

问及陶瓷真空吸盘的市场，张经理坦言道，其实并不算大。虽然陶瓷吸盘可以担任同一领域里的不同职能，但像半导体等下游领域，由于行业集中度颇高，已经难以发展新客户；虽然柔性显示、OLED屏等如今正火，但由于陶瓷真空吸盘质量太好，折旧率太低，市场也是比较有限。

陶瓷吸盘的百变化身

不过张经理提出，其实陶瓷真空吸盘能发挥的作用比我们想象的要丰富许多，在服装鞋帽制造业里其实也可以被使用到。车间里工人们可以将布料置于其上，由于吸力的作用，布料可以被拉得十分平整，更利于后续的裁剪工作。

不过凭借这门制造陶瓷的“好手艺”，方泰也不只靠陶瓷真空吸盘过日子，陶瓷柱塞就是他们的另外一款拳头产品。而且张经理称，日后方泰也还会利用自身的技术优势，继续开发出更多的新产品，虽然目前还只能给我们留个悬念，但还是期待着惊喜到来的那一天！

粉体圈 小梁