原料:4N‑5N 高纯 Y₂O₃粉体;成型:干压、冷等静压、凝胶注模;烧结:高温烧结 + HIP 后处理。1)氧化钇坩埚钛合金、TiAl、稀土金属、贵金属真空熔炼;高纯粉体煅烧;抑制熔体氧杂质污染;短板:不能急冷急热,大尺寸成型困难。2)半导体等离子陶瓷构件刻蚀机腔体零部件:聚焦环、挡板、内衬、绝缘件;抵抗 F/Cl 卤素等离子轰击,相比氧化铝,刻蚀速率低,减少晶圆颗粒污染;先进制程要求 5N 高纯、低孔隙率。3)高温炉内衬、衬套、喷嘴、导流件粉末冶金、真空感应炉小炉膛内衬;活泼合金烧结,避免 Al、Si 杂质析出污染坯体。
4N‑5N 超细高纯粉体,真空热压 / HIP 烧结,致密度接近理论密度,消除晶界气孔实现透光。
典型产品:红外窗口、导弹红外球罩、高温观察窗、激光陶瓷基体。
特点:宽红外透过,耐高温,可掺杂 Yb³⁺等制备固体激光增益介质。
局限:制备门槛极高,尺寸受限,价格昂贵。
添加少量 La₂O₃、ZrO₂、LiF 烧结助剂,降低烧结温度、改善致密度;
注意:熔炼高纯活性金属不建议用掺杂体系,掺杂元素会溶入熔体造成污染;多用于普通煅烧、窑具。
区分:YSZ(钇稳定氧化锆)是 ZrO₂基体,Y₂O₃仅做稳定剂,不属于纯氧化钇特种陶瓷。
三氧化二钇;氧化钇(III) CAS编号:1314-36-9 分子式:Y2O3 分子量:225.81 EINECS编号:215-233-5 德盛稀土氧化钇