硝酸铈铵核心优势（对比传统蚀刻液）

• ✅ 超高精度：低侧蚀、边缘陡直，满足柔性 OLED微米级开孔需求。

• ✅ 柔性兼容：低温、不腐蚀 PI/PET/ 玻璃，适配柔性基板形变控制。

• ✅ 良率与稳定性：蚀刻均匀、速率可控、无过蚀 / 爆蚀，适合卷对卷大批量生产。

• ✅ 环保易处理：水溶性好，Ce³⁺可回收，Cr⁶⁺还原达标，符合洁净制程。

典型应用场景

1. 柔性 OLED 精细金属掩膜（FMM）：因瓦合金 / 超薄不锈钢箔（20–100 μm）表面铬层图形化，用于 RGB 有机材料蒸镀，决定分辨率与色彩均匀性。

   
   

2. 柔性光掩模（Photomask）：PI 基板 + 铬遮光膜，用于柔性电路、触控屏、OLED 阵列制程的高精度图形转移。

3. OLED 触控与阻隔层：柔性基板上铬 / 钼金属线路蚀刻，低温兼容、无残留。

四、CAN 蚀刻液配方与工艺（参考）

• 基础配方（wt%）：硝酸铈铵 10–20% + 硝酸 1–5% + 去离子水，橙色透明液体，0.2 μm 过滤。

• 工艺参数：

• 温度：25–35℃（±0.5℃恒温）。

• pH：<1（强酸性）。

• 方式：喷淋 / 浸泡，蚀刻后去离子水冲洗、去胶、烘干。