基础材质以高纯金属铬为靶材,通过磁控溅射、真空镀膜工艺,在石英玻璃、光学基板表面沉积形成致密铬系薄膜,是光学掩膜、光刻制版、精密遮光元件核心材料。
关键特性
光学:紫外、可见光全波段高遮光率,不透光、遮蔽性强;
性能:膜层均匀致密、附着力强、耐酸碱、耐老化;
工艺适配:可湿法化学刻蚀、精细图形化加工,尺寸精度高。
适用场景光罩掩膜版、光学仪器遮光层、屏幕阻隔镀层、精密元器件避光镀膜。
遮光铬膜为镀膜原材料,硝酸铈铵为后段蚀刻加工耗材;光学掩膜、遮光镀层生产流程:真空镀铬(形成遮光铬膜)→ 光刻制版 → 硝酸铈铵蚀刻液定点腐蚀铬层 → 成型精密遮光图形。