主要用于刻蚀设备的抗等离子体腐蚀防护：

• 刻蚀腔体、腔体内衬、屏蔽环、聚焦环

• 喷淋头、气体分配盘、静电卡盘（ESC）

• 反应腔内壁、石英 / 陶瓷件表面防护作用：

• 耐受 CF₄、SF₆、F₂ 等氟基等离子体刻蚀

• 降低颗粒污染，提高芯片良率

• 延长设备部件寿命，减少维护

2. 红外光学与激光器件

利用其中红外高透过、低折射率、耐磨特性：

• 红外窗口、透镜、整流罩涂层

• 激光腔体、激光晶体防护

• 红外热成像、夜视仪、LiDAR 光学件特点：2–12 μm 波段透过率高，兼具防护与光学性能

3. 航空航天与高温热防护

• 航空发动机燃烧室、喷管、叶片热障涂层

• 火箭发动机喷管、燃气舵防护

• 高超音速飞行器热防护结构优势：

• 耐高温（熔点～1377℃）

• 抗热震、低热导率、抗高温燃气腐蚀

4. 特种化工防腐与精密器件

• 强腐蚀工况：含氟介质、卤素气氛、高温酸碱环境

• 化工反应釜、管道、阀门内衬涂层

• 金属 / 陶瓷部件表面耐磨、耐蚀改性

5. 其他高端应用

• 特种陶瓷、电子封装材料表面改性

• 燃料电池、传感器耐蚀绝缘涂层

• 精密仪表、真空设备内部抗污染涂层