氟化钇(YF₃)是一种性能卓越的低折射率、高稳定性光学镀膜材料,尤其在红外(IR)光学系统中应用广泛,
化学式:YF₃,白色粉末或晶体
熔点:约 1387°C,热稳定性极佳
化学惰性:不溶于水和多数有机溶剂,耐酸碱腐蚀
关键光学性能
宽透光波段:200 nm ~ 12 μm(覆盖紫外、可见光、近红外至中远红外)
低折射率:约 1.46 ~ 1.51(可见光区),红外区约 1.37
低应力:薄膜为低张应力,可制备 **> 2 μm** 的厚膜而不开裂
高激光损伤阈值:适合大功率激光系统
低吸湿性:高温沉积膜在红外波段(3 μm, 6 μm)吸水极少
1. 红外增透膜(AR Coating)
核心场景:8 ~ 12 μm 大气窗口(热成像、夜视)
应用元件:
军用:红外热像仪、夜视仪、激光测距仪窗口
民用:红外测温仪、光谱仪、车载红外镜头
航天:卫星红外探测器、无人机光学罩
优势:在中红外波段透过率高、物理化学稳定性强,能抵御恶劣环境
2. 多层膜滤光片(Filters)
常与 ** 硫化锌(ZnS)、硒化锌(ZnSe)、锗(Ge)** 等高折射率材料搭配
制备带通滤光片、截止滤光片、分光镜,用于红外多光谱检测与激光系统
3. 激光光学元件
CO₂激光器(10.6 μm):窗口、输出耦合镜的减反 / 增透保护膜
固体激光器:作为低折射率层,提升抗损伤阈值与散热性能
4. 紫外 / 可见光光学
高端相机、望远镜、显微镜镜头的宽带增透膜
光学元件保护膜:增强抗刮擦、抗潮湿、抗腐蚀能力