硝酸铈铵(CAN, (NH₄)₂Ce (NO₃)₆) 是微电子与显示产业中 铬(Cr)及氧化铬(CrOₓ)薄膜 的标准湿法蚀刻剂,核心用于 光刻掩膜版、LCD/TFT 阵列、OLED 电极、微机电系统(MEMS) 的图形化加工
高纯度(4N–5N):无金属杂质,不污染面板 / 芯片
水溶性好、易配制:均匀透明、无沉淀
速率可控、重复性好:适合大批量生产
对光刻胶友好:兼容正胶 / 负胶(如 KLT、SU-8)
废液易处理:Ce³⁺可回收再生、Cr⁶⁺还原达标