光学增透:选择溶胶 - 凝胶法,膜厚控制在 λ/4 (约 100-150nm,λ=550nm)
金属防腐:选择电化学沉积法或硅烷复合涂层,厚度 500-2000nm
电子抛光:选择高纯度硝酸铈铵 CAN (≥99.99%),通过溶胶 - 凝胶法制备纳米 CeO₂颗粒,用于 CMP 工艺.
硝酸铈铵镀膜是一种多功能、低成本的薄膜制备技术,核心在于通过精确控制水解 - 缩聚过程,获得性能优异的氧化铈功能膜。
高纯度 CAN 溶液 (≥99.9%) 作为铬掩模蚀刻液,具有选择性高、蚀刻速率可控 (50-200nm/min)、不损伤光刻胶等优势,广泛应用于面板和芯片制造
光学性能 高透过率 (>98%)、低反射 (<5%)、可调折射率 (1.9-2.2)
化学稳定性:耐酸、耐碱、抗氧化,工作温度可达 500℃以上
工艺适应性:适用于多种基材 (玻璃、硅、金属、陶瓷),可通过调整工艺参数控制膜厚 (10nm-1μm)
环保性:无毒 (铈为稀土元素,生物相容性好),部分工艺无有害排放
光学领域
减反射膜:在光学镜片和太阳能电池上形成均匀 CeO₂薄膜,使透光率提升至 98% 以上,减少反射损失。
太阳能电池应用:减少表面反射 (从 30% 降至 5% 以下),增加光吸收,提高光电转换效率 10-15%
高折射率光学材料:用于制备望远镜、显微镜等高精密光学元件,提高成像分辨率和对比度。
CAS号: 16774-21-3 相对分子量:548.23 英文名:Ammonium cerium(IV) nitrate 别名:硝酸铈铵 分子式: (NH4)2Ce(NO3)6